我们提供高效的半导体清洗和回收解决方案,助力行业绿色发展。
深圳市芯铀科技有限公司的核心业务领域
微电子产线过滤
专注于高洁净度化学品过滤,支持光刻胶和CMP过滤,实现国产替代。
通过我们的过滤产品,确保生产线的高效运作和环境的可持续性。
化学品过滤解决方案
Fluoroguard全氟过滤器适用于高温酸碱,去除30nm以上颗粒。
提供大流量长寿命的高性价比解决方案,满足各种化学品过滤需求。
光刻过滤解决方案
Devguard过滤器专用于光刻胶、显影液及DIW过滤,去除10nm以上颗粒。
兼容现有设备架台,无需改动,确保生产线的持续稳定。
CMP过滤解决方案
Slurryfine滤芯适用于STI、W及Cu抛光液磨粒粒径控制。
洁净间空气纯化解决方案
Aeroguard化学滤网吸附空气中的酸、碱、VOC,降低T-top现象。
多种尺寸可选,适用于洁净间和光刻蚀刻设备的关键位置。